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與宏觀硬度相比，顯微硬度測(cè)量結(jié)果的精確性、重現(xiàn)性和可比較性均較差。同一材料，在不同儀器上，由不同試驗(yàn)人員測(cè)量往往會(huì)測(cè)得不同結(jié)果，即使同一材料，同一試驗(yàn)人員在同一儀器上測(cè)量，如果選取的載荷不同，其測(cè)量結(jié)果的差異也較大，難以進(jìn)行比較。導(dǎo)致這一后果，不僅與儀器精度、試樣制備優(yōu)劣、樣品成分、組織結(jié)構(gòu)的均勻有關(guān)，最主要的是在小負(fù)荷下載荷與壓痕不遵守“幾何相似定律”。
宏觀維氏硬度應(yīng)用的公式是建立在“硬度與負(fù)荷無關(guān)”的幾何相似定律基礎(chǔ)之上的，其在10－100Kg載荷下試驗(yàn)得到證實(shí)。然而在小負(fù)荷下（1－1000G）的試驗(yàn)結(jié)果表明：幾何相似定律不再適用。由于壓痕的彈性回復(fù)所致，使同一試樣的相同測(cè)試對(duì)象在載荷變化時(shí)顯微硬度值不相等。
哈納門（HANEMANN）提出：既然顯微硬度值的差別是由壓痕大小引起的，故此以一定尺寸的壓痕對(duì)角線長(zhǎng)度計(jì)算的硬度值H5μ，H10μ,H20μ作為顯微硬度的比較標(biāo)準(zhǔn)。在硬度測(cè)試中，不可能得到完全與標(biāo)準(zhǔn)壓痕相同的壓痕長(zhǎng)度，因此需要首先測(cè)出不同載荷的硬度值（5－6個(gè)），并繪出壓痕對(duì)角線長(zhǎng)度D與顯微硬度HM的關(guān)系曲線。再?gòu)那€上求得H5μ，H10μ,H20μ。
